3MFluorinertFC-40氟化液由美国3M公司制造的低粘度，无色，透明的全氟化学品，具有良好的化学情性，电气绝缘性能，热传导性和独特的低表面张力。
3M”Fluorinert~电子液体是全氟化合物家族的一部分，称为全氟碳化合物或PFCs。是主要的传热流体，长期以来一直被用作极端冷却应用的传热介质。由于其稳定性而用于直接接触冷却，还可用于各种半导体操作，如自动测试，蚀刻，沉积，光刻等。
零部件数量少 组件质量高 减少了潜在的故障点，最大限度地减少了维护需求。
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